产品描述:
特征

软硬件垂直整合优势

，并且采用高精密
，高刚性直驱马达，重复精度达±0.02mm


，回转半径小

，空间使用率高

。

适用于半导体产业(晶圆取放)、光电产业(小型面板

、小型太阳能板)、LED产业(蓝宝石基板
、胶环)等取放设备
。